近年由於電子、半導體領域製程精進，即使微小的振動也會對良率造成影響，如廠外建築工地打地樁、場外車輛經過、場內人員行走或是風力 、地震等等，只要會對建築產生作用力的都會影響到建物發生微振動。

對於高精度需求設備，例如半導體的曝光機、光學檢測機、光學元件模組鏡面加工等等，這些設備受到外界的振動有很大的機會影響到設備機能的表現。當廠房環境振動的條件無法達到設備本身需求的振動規格時，將會造成製程良率降低，也會造成量測儀器無法透過更高的倍率以檢測愈來愈細微的線寬，從而影響到整個高階製程的發展，因此安裝精密的隔振動設備，亦即主動式、被動式的隔振動系統，已經被認為是一種可以直接影響晶圓生產良率的事實。

譜威提供的地震/微振監測系統，已經大規模被使用在晶圓及半導體廠，7天24小時不間斷監測並記錄廠內各樓層受到的振動，並且提供完整資訊作為廠內人員、結構技師評估改善解決方案的重要參考。

譜威地震/微振監測記錄系統至今已經在超過25個廠區，安裝超過400的通道，是各大半導體/晶圓/面板廠信任且肯定的解決方案。

系統架構

提供系統量測設定(感測器、通道設定、取樣頻率、單一檔案記錄時間、警戒值設定、量測資料及電腦現在可儲存空間顯示及設定、量測資料傳輸設定)

提供即時時域或頻域波型顯示