半導體蝕刻機在製程中扮演關鍵角色，穩定度直接影響良率與產能，此案例藉由模態分析找出跳機原因
影片介紹
案例摘要：
客戶反映，0403地震時，廠內A牌的蝕刻機，Turbo Pump
因安全機制（位移>67um）產生跳機，但相較同場域B牌及C牌的機種在配置同樣型式的Turbo Pump，卻未發生！
B牌及C牌的設計Turbo Pump底部無支撐，為懸空的狀態，但A牌則有進行底部支撐及固定，一般認為有進行支撐固定會有更好的剛性及抑振表現
透過模態分析實驗發現，固定會造成Pump與結構無法同動，主軸產生相位差，造成相對位移過大！
