爐管重要嗎？
應用說明：高溫擴散爐是晶圓廠重要的製程設備，由於數量需求量大，為了降低佔地面積，許多廠商將水平爐管改為垂直爐管，但也因此使乘載晶圓的晶舟結構強度更為重要。若結構不佳，當有較大震源如地震來的時候可能就會產生破片等問題。
名詞說明
一、Boat（晶舟／載舟）
所在製程：主要應用於 高溫爐管製程（如氧化 Oxidation、擴散 Diffusion、LPCVD、Anneal 等）。
功能說明：
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「Boat」是一種 石英或 SiC 製的載具，用來垂直或水平固定晶圓 (Wafer)，並將其送入爐管中進行高溫處理。
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它通常裝載 25～150 片晶圓，依製程種類和設備結構而定。
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在垂直爐（Vertical Furnace）中，boat 通常與 wafer loader / elevator / quartz tube 搭配使用。
二、Cap（爐蓋／管蓋／石英蓋）
所在製程：同樣應用於 氧化、擴散、LPCVD、退火 (Anneal) 等爐管製程中。
功能說明：
「Cap」是爐管（Quartz Tube）的封口裝置，位於爐管開口端，用來：
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密封反應區域，防止外部氣體或微粒進入；
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控制氣體流場與壓力穩定；
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在部分系統中整合溫度感測或氣體導流功能。
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當 boat 載滿 wafer 送入爐管後，cap 會封閉爐口，確保內部氣氛（氧氣、氮氣、矽烷氣等）能穩定反應。
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目的：透過結構模態測試可以觀察在不同設計下，爐管再面對低頻振源的結構強度。
測試工具
