• 09:00 - 18:00

  • 星期一 - 星期五

測試應用名稱

無塵室樓板微振動監測系統

測試目的及應用

科學園區內各大晶圓廠,Dram廠,封裝測試廠等高科技電子廠房,無塵室內的製程設備,精密度都非常高,當然也對振動的影響非常敏感,任何的微小振動,都可能引發跳機,中斷產程。 因此在製程中,對於微振動敏感的設備,持續不間斷的記錄監視微振動變化,並在發生過大微振動時發出預警保護重要製程設備,可保持產程的穩定,增加公司的產量及收益。

測試方式介紹

對於廠房內微振動敏感的設備,選擇適當偵測地點,安裝低頻高靈敏度之微振型加速規,量測三個軸向,而連續不間斷地量測該偵測點微振動的訊號,並將量測信號傳回控制台內的系統,系統內的監測功能則包括了:

連續振動波型記錄與監視
樓板微振動(低頻振動)標準判讀分析
振動事件警報警示輸出與SMS簡訊發佈
振動歷史記錄查詢與報表輸出
遠端資料查詢
樓版微振動的即時監測應用功能
讓負責人員可以最快的時間內,做正確的應用及分析,提高製程的妥善率及產能。

測試設備

讓負責人員可以最快的時間內,做正確的應用及分析,提高製程的妥善率及產能。