• 09:00 - 18:00

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系統名稱

晶圓廠廠房排煙風扇監測系統

系統目的及應用

針對排煙風扇設備,進行On line的振動監測,了解風扇設備的即時狀況,並作預警發報,進一步則可對於設備劣化狀況進行診斷分析。

系統介紹:

晶圓廠的運作, 廠房內的排煙風扇,是一個非常重要,不可或缺的廠務設備, 更不能停機。
而本系統於晶圓廠內排煙風扇設備AEX,VEX及GEX,在風扇端及馬達端,裝設工業用加速規,量測振動,並將訊號回傳至phoenix GM監測系統,進行狀態監測,預知保養及緊急設備跳脫。
並可根據設備 真實運轉狀態 於一定時程量測後 建議適當的警戒值,數據並可經後段分析後 由專家提出診斷建議及維修排程


系統設備:

Phoenix GM 32通道智慧監測系統, 美國IMI工業用加速規。